EUV光刻机被美盯死:1.2亿美元也难买

IT之家 · 电子工程世界·2020-11-13 00:00

4.2k

中国需要光刻机,尤其是支持先进制程的高端光刻机。


具体来说,就是 EUV (极紫外光源)光刻机。

目前,世界上能够制造 EUV 光刻机的,只有一家公司,它就是荷兰光刻机巨头 ASML(中文名为阿斯麦)。实际上,作为一家外企,ASML 进入到中国市场已经超过30年,可以说是渊源深厚。

但是,由于商业之外的原因,ASML 无法向中国大陆市场出口 EUV 光刻机,尽管它自己其实是非常乐意的。

背后的始作俑者,还是美国。

ASML 与中国市场的深厚渊源

中国大陆市场,一直是 ASML 在全球范围内最重要的市场之一。

以2020年为例,ASML 在第二季度总共卖出了61台光刻机(包括新设备和二手设备),在第三季度卖出了60台——这其中,有超过24台是卖给了中国大陆。

按照 ASML 全球副总裁、中国区总裁沈波的说法,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。

当然,这些出售到中国大陆的光刻机,不包含 EUV 设备。

对此,沈波表示:

ASML 必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的,我们对全球客户都一视同仁,只要是我们能够提供的技术和设备,我们都会全力支持。

可以看到,如果排除外界因素的干扰,ASML 自身是很有诚意与中国合作的。

雷锋网了解到,ASML 成立于1984年;当时,市面上尚有多家生产光刻机的公司,而 ASML 位居最后一名。不过,仅用2年时间,ASML 就研制出了型号为 PAS2500的晶圆步进式光刻机(Stepper),它可以生产 VLSI 一代的芯片,这使 ASML 在市场上站稳了脚跟,并拥有了一定的名气。

值得一提的是,早在1988年,ASML 在进军亚洲之时,就向中国大陆发售了最早一台设备。

经过三十多年的深耕,ASML 在中国大陆已经出售700多台光刻机装机,涵盖了 ASML 公司的(EUV 设备之外)的绝大部分类型产品。

不仅如此,在2000年天津成立分公司的基础上,ASML 目前在中国设有12个办公室,11个仓储物流中心,2处技术开发中心(深圳和北京,做计算光刻、量测等开发),拥有1000多名员工。

此外,ASML 还在中国专门建设了1个培训中心,培养光刻行业人才。

正如沈波所言,在遵守法律法规的同时,ASML 全力支持客户和中国集成电路行业的发展,在每个阶段 ASML 和中国集成电路业界都有着很好的合作。

他还表示,ASML 在中国的整体状态越来越好,未来服务会更多样化,对中国的投入也会越来越大。

EUV 光刻机未能出口中国大陆的根本原因

作为全球最大的光刻机企业,ASML 独自享受着 EUV 光刻机技术带来的商业发展便利,但同时也不得不承受大国竞争和冲突下的沉重政治枷锁。

一个典型的案例,就是 EUV 光刻机向中国大陆出口受阻。

EUV 光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品,由于采用了极紫外线,它的最小工业节点到了22nm-7nm,可以说是世界上最先进的光刻机设备——而这种设备,只有 ASML 能造出来。

在 EUV 技术的研发层面,ASML 也经历了艰苦跋涉的过程。

实际上 ASML 从1999年就开始 EUV 光刻机的研发工作,原计划在2004年推出产品,但直到2010年才研发出第一台 EUV 原型机,2016年才实现下游客户供货——甚至到2019年,第一款7nm EUV 工艺的芯片才正走向商用。

不过,在美国主导的《瓦森纳协定》(Wassenaar Arrangement)的影响下,这一高端设备对中国大陆的出口受到严格限制——一直到2018年才发生转机。

2018年4月,中芯国际向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机,价值1.2亿美元,预计2019年年初交货——后来此事被报道后,ASML 回应称,对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁,且向中国出售 EUV 光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

当时,荷兰政府的确向 ASML 发放了出口许可证。

然而,天有不测风云,这场交易从一开始就受到阻碍。根据知情人士的说法,美国立即盯上了这笔交易——接下来的几个月里,美方官员至少四次与荷兰官员开会,讨论可否直接封杀这笔交易。

但雪上加霜的是,2018年12月1日,ASML 元件供应商 Prodrive 的一家工厂又发生重大火灾,ASML 当时公开表示,2019年年初的出货预计将遭递延。

与此同时,美国政府继续就这笔交易进行背后运作。

2019年元旦前后,美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的 “安全风险”;随后在2019年6月,美国国务卿蓬佩奥访问荷兰,再次向荷兰政府施加压力,要求停止这笔交易。

值得一提的是,2019年6月30日,荷兰政府向 ASML 颁发的出口许可证到期。

2019年7月,荷兰首相 Mark Rutte 访问美国,美国白宫高级官员向他展示了一份情报报告,内容是所谓 “中国获得光刻机的可能后果”。据路透社报道,这次访问后不久,荷兰政府决定不再续签这份许可证——此后 ASML 未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。

此后,关于 EUV 光刻机向中国大陆出口,ASML 的官方说法一直是:公司仍在等待新许可证申请的批准。而针对媒体对于美国施压的报道,荷兰外交部也在2020年在1月15日表示:

在决定是否签发出口许可证时,荷兰政府要权衡经济和安全利益。

由此,ASML 向中国市场出售 EUV 光刻机的计划,就此搁置。

小结

2020年,随着美国对中国半导体领域的打压,国人对于光刻机的关注度越来越高,而 ASML 也因此受到关注。

但能否向中国大陆出售 EUV 光刻机,的确非 ASML 所能左右。

可以确定的是,对于向中国大陆市场出售光刻机一事,ASML 一直是非常积极的。根据 ASML 中国区总裁沈波的最新说法,ASML 已经向荷兰政府提交出口 EUV 光刻机的申请,目前还在等待荷兰政府的出口许可证。

而荷兰政府,则还在等待美国政府的态度。

当然,目前美国政府的态度也存在不确定性,特朗普眼下必然无心考虑此事,恐怕一切还要等到明年新一届美国政府正式上任之后。


关键字: EUV 编辑:北极风 引用地址: //news.eeworld.com.cn/xfdz/ic516520.html 本网站转载的所有的文章、图片、音频视频文件等资料的版权归版权所有人所有,本站采用的非本站原创文章及图片等内容无法一一联系确认版权者。如果本网所选内容的文章作者及编辑认为其作品不宜公开自由传播,或不应无偿使用,请及时通过电子邮件或电话通知我们,以迅速采取适当措施,避免给双方造成不必要的经济损失。

广告

IT之家 · 电子工程世界·2020-11-13 00:00

4.2k
  • 光刻机
  • EUV
  • 用户热评
    打开摩尔芯球APP,查看更多评论

    重大事件及时推送,更流畅的沉浸式阅读体验

    参与评论

    0/200字

    登录后即可发布评论

    发布评论

    请使用浏览器自带的分享按钮,
    将你这篇文章分享出去吧。
    +86
    获取验证码
    登 录

    邮箱登录

    未注册过的用户将直接为你创建摩尔账号