与非网 5 月 22 日讯,近日,深圳 中科飞测 科技有限公司的 椭偏膜厚量测仪 作为首批设备,正式搬入厦门 士兰集科 微电子有限公司。

士兰集科由厦门 半导体 投资集团有限公司与杭州士兰微电子股份有限公司共同出资设立。根据规划,士兰集科将投资 170 亿元在厦门海沧建设两条 12 英寸特色工艺 芯片 生产线。

据了解,这是国内首条 12 英寸特色工艺芯片制造生产线和下一代化合物生产线。项目总建筑面积约 25 万平方米,总投资 70 亿元,分二期建成。项目一期建成达产后年销售额将超过 10 亿元。二期项目建成后,预计年生产总值可达 40 亿 -50 亿元。

图源:中科飞测

该生产线于 2018 年 10 月 18 日,在厦门海沧动工,该项目于今年 5 月 10 日宣布正式通电后,工艺设备也将开始陆续进场,预计年底通线。该项目建成后,将填补国内特色工艺半导体芯片空白,加快完善国内 集成电路 产业布局。

中科飞测是一家以在集成电路设备领域有多年经验的研发和管理团队为核心,自主研发和生产工业智能检测装备的高科技创新企业。同时,中科飞测也是目前国内唯一一家在 Metrology(量测)和 Inspection(缺陷检测)两大领域均在国内一线半导体制造厂商取得批量订单的半导体光学检测设备供应商。